無塵室規劃工程,通過美國聯邦標準

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無塵室規劃工程,通過美國聯邦標準

潔淨室按空氣清潔程度分類。在美國的聯邦標準209(A到D)中,在1立方英尺的空氣中測量等於或大於0.5µm的顆粒數,該計數用於對潔淨室進行分類。最新的209E版本標準也接受此度量標準術語。聯邦標準209E在國內使用。較新的標準是國際標準組織的TC 209。兩種標準均根據實驗室空氣中發現的顆粒數量對潔淨室進行分類。潔淨室分類標準FS 209E和ISO 14644-1要求進行特定的顆粒計數測量和計算,以對潔淨室或潔淨區域的潔淨度等級進行分類。在英國,英國標準5295用於對潔淨室進行分類。該標準將被BS EN ISO 14644-1取代。



無塵室根據每單位空氣中允許的顆粒數量和大小進行分類。較大的數字(例如“ 100級”或“ 1000級”)是指FED_STD-209E,表示每立方英尺空氣允許的尺寸為0.5 µm或更大的顆粒數。該標準還允許插值,因此可以描述“ 2000級”。

較小的數字表示ISO 14644-1標準,該標準指定每立方米空氣允許的0.1 µm或更大的粒子數的十進制對數。因此,例如,ISO 5級潔淨室每立方米最多可容納105 = 100,000個顆粒。FS 209E和ISO 14644-1均假設粒徑和濃度之間的對數關係。因此,不存在零粒子濃度的情況。普通房間的空氣約為1,000,000級或ISO 9。

 

 
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